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聚焦离子束扫描电子显微镜

FocusedIonBeamScanningElectronMicroscope

仪器型号：Crossbeam350

生产厂家：德国蔡司公司

主要技术指标：

1、离子束分辨率：3.0nm@30kV；放大倍率：300×-500k×

2、电子束二次电子分辨率：≤0.9nm@15kV；≤1.7nm@1kV(非减速模式)；放大倍率：12×-2000k×

3、液氮冷台：温度控制范围为-185℃至+50℃

4、能谱仪分辨率：MnKa优于127eV

应用领域：

1、纳米材料形貌像分析、材料微区域EDS能谱成分分析；2、固体样品制备微纳结构；3、TEM样品制备；4、离子束刻蚀、离子束沉积。